Especificación MKS 626A01TDE
| fabricantes | MKS |
| Tipo | Transductor de presión |
| Tipo de sensor | Manómetro de capacitancia |
| Rango de temperatura de funcionamiento | 0-50 ℃ |
| Salida analógica | 0-10 V CC |
| Exactitud | 0,25% de la lectura |
| Conector eléctrico | Conector D-sub de 15 pines |
MKS 626A01TDE Vistas



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MKS 626A01TDECaracterísticas
1. Medición independiente del gasA diferencia de los manómetros térmicos o de ionización, el MKS 626A01TDE mide el desplazamiento físico de un diafragma. Los transductores de presión absoluta MKS permiten obtener lecturas precisas de la presión total, independientemente de la composición del gas en el sistema de vacío.
2. Construcción resistente a la corrosiónEl MKS 626A01TDE presenta un diseño totalmente soldado con superficies en contacto con el fluido fabricadas en Inconel. La elección de materiales de los transductores de presión absoluta de MKS garantiza que el sensor pueda soportar la exposición a gases de proceso agresivos o corrosivos sin degradarse.
3. Precisión de alta resoluciónEl MKS 626A01TDE ofrece una alta precisión del 0,25 % de la lectura. Los transductores de presión absoluta TMKS, junto con su rango de escala completa de 1 Torr, lo hacen ideal para procesos de vacío críticos que requieren un control de presión preciso.
4. Excelente protección contra sobrepresión.Diseñado para ofrecer durabilidad industrial, el MKS 626A01TDE puede soportar exposiciones repetidas a presiones de hasta 45 psia sin necesidad de recalibración ni sufrir daños permanentes.
5. Respuesta rápida en tiempo real.El MKS 626A01TDE proporciona una salida analógica lineal de 0-10 VCC con un tiempo de respuesta inferior a 20 milisegundos, lo que lo hace perfecto para bucles de control automatizados de alta velocidad y adquisición de datos.
MKS 626A01TDEPreguntas frecuentes
P1: ¿Cómo mantiene el MKS 626A01TDE la precisión de la medición independientemente del tipo de gas?
El MKS 626A01TDE es un manómetro de capacitancia absoluta que mide la presión detectando el cambio de capacitancia física causado por la deflexión de su diafragma interno. Dado que los transductores de presión absoluta MKS se basan en la fuerza mecánica en lugar de la conductividad térmica o las propiedades de ionización, el MKS 626A01TDE proporciona una medición de presión total real que es completamente independiente del tipo o la mezcla de gases.Si bien el MKS 626A01TDE puede montarse en cualquier posición, MKS Absolute Pressure Transducers recomienda encarecidamente instalarlo con la brida de vacío hacia abajo. Esta orientación evita que las partículas o los contaminantes condensables se depositen en el sensible diafragma de Inconel, lo que contribuye a mantener la estabilidad de la calibración a largo plazo y la velocidad de respuesta del MKS 626A01TDE.
Para calibrar el punto cero, los transductores de presión absoluta MKS deben evacuarse hasta alcanzar una presión al menos un orden de magnitud inferior a la resolución del manómetro. Una vez estabilizado el sistema, el potenciómetro de cero del MKS 626A01TDE debe ajustarse hasta que la salida marque exactamente 0,000 VCC. Esto compensa cualquier tensión de montaje o variación de la temperatura ambiente que pueda afectar al MKS 626A01TDE.
Sí, el MKS 626A01TDE está diseñado con una sólida protección contra sobrepresión. Puede soportar exposiciones repetidas a presiones de hasta 45 psia sin dañar el elemento sensor interno. Esto garantiza que el MKS 626A01TDE siga funcionando con precisión incluso después de una liberación repentina del sistema o una sobrepresión accidental.
Los transductores de presión absoluta 626A01TDE utilizan Inconel en todas las superficies que entran en contacto con el gas del proceso debido a su excepcional resistencia a la corrosión. Esto permite que el MKS 626A01TDE se utilice en procesos exigentes de semiconductores y deposición química en fase vapor que involucran gases agresivos que degradarían los sensores estándar de acero inoxidable.
El transductor de presión absoluta 626A01TDE requiere una fuente de alimentación de doble polaridad de +/-15 VCC. Proporciona una señal de salida analógica altamente lineal de 0 a 10 VCC, donde 10 V corresponden con precisión al rango de escala completa de 1 Torr. Su salida estandarizada permite que el MKS 626A01TDE se integre fácilmente en sistemas PLC, controladores de vacío o módulos de adquisición de datos.
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